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碳化硅微粉的水力分級(jí)制法

　　
　　隨著碳化硅微粉近幾年的發(fā)展，碳化硅微粉憑借著展現(xiàn)自身的優(yōu)點(diǎn)，在各行業(yè)、各領(lǐng)域得到廣泛應(yīng)用，并以各項(xiàng)高、精、科學(xué)技術(shù)迅速發(fā)展。但由于行業(yè)及用戶對(duì)碳化硅微粉的品質(zhì)、純度提出了更高的要求，所以，在加工方法上不斷改進(jìn)創(chuàng)新。
　　碳化硅微粉的提純，分級(jí)加工的方法，主要是以主導(dǎo)的水力精分選工藝方式，水溢流分選方式為主。生產(chǎn)出來(lái)的碳化硅微粉精分選應(yīng)用效果好，純度高，粒度分布窄，品質(zhì)穩(wěn)定。由于碳化硅微粉在冶煉及粉碎的過(guò)程中，會(huì)不可避免混入各種雜質(zhì)，而這些雜質(zhì)在碳化硅微粉的使用過(guò)程中，對(duì)其所加工的碳化硅微粉的質(zhì)量和制造的半導(dǎo)體器件的性能等都有非常大的影響，增加制品的不良品率，降低加工品的表面加工質(zhì)量等等。

　　碳化硅中的雜質(zhì)主要有碳、三氧化二鐵、三氧化二鋁、氧化鈣和氧化鎂以及二氧化硅等等。這些物質(zhì)在碳化硅微粉做不同的用途時(shí)分別產(chǎn)生不同的影響，其中尤其以三氧化二鐵為重。而在碳化硅的工藝流程生產(chǎn)中較多的采用加酸除雜質(zhì)的方式。這種方式的優(yōu)點(diǎn)是成本較低、除雜率高。